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· 193nm ArF光刻膠已通過存儲、邏輯兩家芯片制造企業(yè)驗證,成為國內(nèi)首個通過驗證的ArF光刻膠產(chǎn)品
· 2021年建黨100周年前夕,順利通過國家“02-專項”驗收
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